Hlavní stránka > Výsledky hledání: keywords:"EUV mirror"
Hledej:
Tipy pro vyhledávaní :: Rozšířené hledání
Hledej ve sbírkách:
Seřadit podle: Zobrazit výsledky: Výstupní formát:
Národní úložiště šedé literatury Nalezeno 2 záznamů.  Hledání trvalo 0.01 vteřin. 
SMV-2019-16: Návrh technologie přípravy a realizace mnohovrstvého EUV systému
 Fořt, Tomáš
Návrh technologie přípravy a realizace mnohovrstvých systémů střídajících ve dvojvrstvách hořčík a křemík popřípadě molybden a křemík vytvořené magnetronovým naprašováním tak, aby drsnost rozhraní uvedených vrstev nepřesahovala 0,1 nanometry a reprodukovatelnost tlouštěk dvouvrstev byla lepší než jedna desetina nanometru. Mnohovrstvý systém byl použit jako EUV zrcadlo.
Úplný záznam
SMV-2013-29: Návrh technologie přípravy a realizace mnohovrstvého systému
 Sobota, Jaroslav
Návrh technologie přípravy a realizace mnohovrstvého systému střídajícího ve dvouvrstvách molybden a křemík vytvořeného magnetronovým naprašováním tak, aby drsnost rozhraní uvedených vrstev nepřesahovala 0,2 nanometry a reprodukovatelnost tlouštěk dvouvrstev byla lepší než jedna desetina nanometru pro experimenty v rentgenovém laseru PALS. 0,2 nanometry.
Úplný záznam

Chcete být upozorněni, pokud se objeví nové záznamy odpovídající tomuto dotazu?
Přihlásit se k odběru RSS.
Digitální repozitář :: Hledej :: Nový záznam :: Personalizace :: Nápověda
Powered by Invenio v1.1.2
Spravuje admin.invenio@techlib.cz
Tato stránka je dostupná také v následujících jazycích:
Česky  English